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竹中工務店 プラスマイナス0・01度以内でクリーンルームの温度制御 再熱なくし30パーセント省エネ20061116建設工業
竹中工務店は、±0・01度以内の温度制御が可能な半導体製造施設向け空調システムを開発した。従来方式の再熱による温度制御ではなく、冷却のみでクリーンルーム内の温度を超精密に制御するのが特長。コストを従来システムと同等程度に抑えたほか、電気ヒーターによる再熱を行わないため、約30%の省エネルギー効果と電磁ノイズの発生という課題を解消した。空調機は主要部材をコンパクト化し、工場生産するため、従来機に比べ約60%の省スペース化と約40%の工期短縮も可能にした。すでに新システムの納入実績があるという。
従来の超精密温度制御システムは、冷水を活用して空気をいったん冷やし、電気ヒーターによる再熱で、顧客の要求に合った温度制御(一般的には±0・05度以内)を行っていた。開発した新システムは、冷水と空気の熱交換の間に多数の熱交換機を投入することで冷水の温度変動を制御する。熱源となる冷水の温度変動(±1・0度)を抑えることで、再熱を使わずに、室内温度変動を±0・01度以内で制御することを可能にした。
空調機は、冷水の温度変動を制御するダブルブリードイン配管ユニットや電源盤、自動制御盤を組み込んだオールインタイプ。従来のようなダクトも不要で、占有スペースが小さく、現場作業も少ない。電気ヒーターによる再熱での温度制御は、電磁ノイズが発生し、半導体製造過程に影響を与える可能性があったが、再熱をなくしたため、電磁ノイズの問題も解消された。
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