半導体製造装置

プラズマ装置を扱っています!

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卓上プラズマ処理装置 です。
イメージ 1


用途は表面処理 殺菌処理 薄膜形成…
(注:材質によって現象は異なりますし、殺菌できないものもあります。)

※応用例

イメージ 2

上の図は、プラズマ処理を数秒程度行ったものの、処理前-処理後の写真です。
プラズマ処理を行うことによって、表面の状態が変わり、水のぬれ性が向上していることがお分かり頂けます。
なお、材質によって効果が得られるものと、そうでないものがございます。


仕様はHPに掲載しています。
詳しくはコチラをご覧下さい↓

閉じる コメント(13)

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私は化学専門ですが、こういうのはさっぱりです。

2006/9/28(木) 午後 11:09 [ かめ好きおやじ ]

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亀好きおやじさん、こんにちは。私もさっぱり分かりませんが、製品の紹介は楽しいです。

2006/10/2(月) 午前 10:21 [ sak*ga*e_55 ]

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あの〜、装置構成がよくわからないのですが、上に乗っている?設置されている箱のようなものの中でプラズマを発生させるのでしょうか?

2006/10/7(土) 午後 2:44 [ mmm ]

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mmm さん、はじめまして。返事が遅くなってすみません。この装置ですが…そうです!上に乗ってる小さい箱の中でプラズマを生成します。ちなみに、この写真は一番小さいもので、もう少し大きな製品もあります(^^)。

2006/10/10(火) 午前 11:02 [ sak*ga*e_55 ]

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ご返答ありがとうございます。あと、ふとした疑問なのですが、アクリル(詳細のHPに記載がありましたが)中でプラズマを発生しても大丈夫なものなのでしょうか?削られたりせず耐久性も大丈夫ですか。

2006/10/10(火) 午後 8:11 [ mmm ]

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mmmさん、HPにもお越し下さったんですね!ありがとうございます。さてアクリルについての質問ですが…、お察しの通り、プラズマによってアクリルが曇る場合もありますが、基本的に空気のみでプラズマを生成しているので、ほとんど削られることはないとのことです。また、曇り防止のために、カバーガラスなどを準備しております。他にご質問がございましたら、遠慮なくお願いします。ご質問頂けますと、勉強になります(^-^)。

2006/10/11(水) 午前 10:56 [ sak*ga*e_55 ]

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ご返答ありがとうございます。それではお言葉に甘えてもう一つ質問があります。プラズマで発生する熱にアクリルは耐えることができるのでしょうか?どのくらいの時間、放電させても大丈夫なのでしょうか?

2006/10/11(水) 午前 11:25 [ mmm ]

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mmm さん、引き続き、ご質問ありがとうございます。ご質問いただきました件ですが、数分の処理では目立った発熱はないとのことです。また、数分の処理を100回程度行っても、アクリルの曇りは確認されないとのことです。

2006/10/11(水) 午後 0:43 [ sak*ga*e_55 ]

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お忙しいところ、いろいろご返答頂きありがとうございました。これからも応援しておりますので、がんばってください。

2006/10/11(水) 午後 3:35 [ mmm ]

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教えて下さい。アクリル表面をプラズマ処理してシリコーンと接着させたいのですが、”濡れ性”は良くなり、”密着”はするのですが”接着”までには至りません。やり方がまずいのでしょうか?

2008/8/22(金) 午後 1:30 [ jun ]

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jun さん。返事が遅くなって大変申し訳ございません。上司に聞きましたら、「処理時間かパワーの問題でしょうか…」と言ってました。より詳しい質問などございましたら、魁半導体のHPのお問い合わせフォームをご利用願います。技術スタッフが可能な範囲でお答えいたします(^^)

2008/9/16(火) 午前 11:35 [ sak*ga*e_55 ]

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ご回答ありがとうございました。この間、少し勉強しましたが、個人的には表面処理云々よりアクリルとシリコーンの組合せ固有の問題のように思えてきました。時間、パワー、真空度、ガス、励起方式を変えても、界面は凝集破壊まで至りません。

2008/9/23(火) 午後 5:42 [ jun ]

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jun さん。こんにちは。また上司に聞きましたら「雰囲気制御」の話をされました。難しい事は分かりませんが、話を聞くのは面白いです。こちらも勉強になります(^^)。

2008/9/25(木) 午後 4:54 [ sak*ga*e_55 ]


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