ワイヤーボンディング前処理用途の大気圧プラズマ

ワイヤーボンディング前処理用途の大気圧プラズマ　型式：S5000-BM　です。

コントロール部

プラズマトーチ

例：トーチをロボット先端へ接続
1軸ロボットやX-Yステージも対応致します。

製品の概要

■熱によるダメージは殆んどありません。
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。
(条件によってはサンプル表面を40℃程度に。)

■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
→処理対象物へ電荷のダメージを与えません。

■ArやHeなどの高価なガスは必要とせず窒素のみをプラズマ化し、対象物の表面改質を行います。

■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。

■大面積処理へも改良可能です。

■メンテナンスも容易です。

仕様はＨＰをご覧願います。装置のお問い合わせもこちら
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(株)魁半導体